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공정
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용도/장치
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추천재질
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각
재질의 특성
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A) Lithography
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1) Resist
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resist Filter
resist pipe line
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4079
8201
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내약품성이 우수함(아민류
제외).
추출물이 가장 적음.
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2) Resist
coating and
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chemical pipe line
coater and developer
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B) Etching
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1) Wet
Process
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chemical pipe line
etching machine
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4079
8201
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내약품성이 우수함(아민류
제외)
추출물이 가장 적음.
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2) Dry
Process
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parts in chamber
plasma ashing machine
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4079
2037
8001
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내열성 기계적
특성이 우수함.
내플라즈마성이 우수함
particle이 가장 적으며, 산소에 대한 내플라즈마 특성이 우수함.
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C) Cleaning
/ Ashing
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1) Ashing
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parts in chamber
plasma ashing machine
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2037
8001
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내플라즈마성이
우수함.
Particle이 가장 적으며, 산소에 대한 내플라즈마 특성이 우수함.
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2) Resist
stripping
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chemical pipe line
resist strip machine
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1050LF
4079
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아민계 stripping
화학 약품에 대해 내화학성이 우수함.
아민계를 제외한 화학 약품에 대한 내화학성이 우수함.
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3) Cleaning
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cleaning pipe line
chemical machine
filter
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4079
8201
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내약품성이 우수함(아민류
제외)
추출물이 가장 적음.
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D) Oxidation
/ Diffusion
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oxidation, diffusion,
-fumace
lamp annealing
machine
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4079
1050LF
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내열성 기계적
특성이 우수함.
방출 가스량이 최소.
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E) MetalCVD
& PVD
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parts in chamber
sputtering machine
metal CVD
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F) Dielectric
layer
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part in chamber
plasma CVD machine
LP - CVD machine
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4079
2037
8001
1050LF
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내열성, 기계적
특성이 우수함.
내플라즈마성이 우수함.
Particle이 가장 적으며, 산소에 대한 내플라즈마 특성이 우수함.
방출 가스량이 최소
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